
半導体の製造プロセス(前工程)をやさしく
2026-08-07 ・ 入門
1枚のウェハがチップになるまで、工場では数百もの工程を数か月かけてくり返します。その中心が「前工程」です。
全体の流れ
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チップづくりは大きく、ウェハに回路を作り込む前工程と、切り出して組み立てる後工程に分かれます。ここでは前工程を見ます。
4つの基本動作のくり返し
前工程は、次の動作を何十回もくり返して回路を層状に積み上げます。
前工程のサイクル
成膜
薄い膜を積む
露光
光で回路の型を写す
エッチング
いらない所を削る
ドーピング
電気の性質を調整
中でも露光(リソグラフィ)が微細化のカギ。細い線を描けるかどうかで世代が決まります。
なぜクリーンルーム?
回路は髪の毛の1万分の1ほどの細さ。ホコリ1粒でも不良の原因になります。だから工場は徹底的にホコリを除いたクリーンルームで、作業者は防塵服(バニースーツ)を着ます。
数字で実感
最先端チップは、1枚のウェハを仕上げるのに数か月・数百工程。1工程のミスが全体をムダにするため、歩留まりの管理が命です。